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   友达光电用氧化物TFT开发出37英寸全高清液晶面板

 

    

　
　     [投影之窗消息]  根台湾友达光电用基于透明非晶氧化物半导体（TAOS）的TFT（TAOS-TFT）试制出了全高清37英寸液晶面板。TAOS-TFT液晶面板开发此前最大尺寸止步于20英寸以下，此次一举实现了大尺寸化。样品面板使用的TAOS-TFT，是将源电极和漏电极设在沟道侧面的同一平面型，沟道材料为非晶IGZO。AUO在演讲中出示的TAOS-TFT试制结果显示，以栅极宽度和长度分别为22μm和5μm的元件，实现了载流子迁移率10～13cm2/Vs，开/关比108以上的良好特性。即便是经常碰到的TAOS-TFT元件特性不稳定问题，也通过在IGZO成膜后实施N2O等离子处理以及改善钝化方法等使其得到了控制
    		　

 
  
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